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이동로봇
Semiconductor Production Type

반도체 제조용 AGV는 DSP (Double Side Polishing) 공정에서 생산된 웨이퍼를 수조에 담아 이송합니다.

Video
Specifications
Hardware
Stop Resolution ±10mm
Velocity 1.0m/s
Load Capacity Max. 90kg
Lift
Battery LiFePO4
Li-ion
Conveyor velocity 80mm/s
Software
Navigation Type Laser-Reflect Guide
Communication Wireless LAN Control
PC-Base
Battery Charger Opportunity Fast-Charging

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